一般會使用真空熱處理，主要是希望在熱處理的過程中避免材料的氧化反應，甚至有的材料在高溫狀態下遇到氧氣或空氣會成為有自燃性/易燃性。所以會採取真空的方式進行熱處理。另外真空之下在加熱材料時，材料對於週遭的環境會有較低的熱傳(真空度高時，熱傳會較不明顯)。整體材料加熱的均勻性來說會比較好。高週波熱處理多半使用在針對材料表面進行熱處理。藉由高週波加熱材料表層，來達到硬化的效果。多半硬化的深度與高週波時間有關。不過因為都是在做表層的熱處理，深度上不會很深。通常以幾個mm就算是很深了。這樣子做的材料具備了外硬內軟的性質，對於一些需要耐磨耗但又需要吸震的環境下是很有用的(例如線性滑軌)

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